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本实用新型公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，属于电子技术领域，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，...
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