一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，属于电子技术领域，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，所述伸缩机构一端安装有防反光板，所述密封室底部设置有底座，所述密封室外部安装有万能表，所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。本实用新型专利技术该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。投入使用。投入使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置


[0001]本技术涉及电子
，尤其涉及一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置。

技术介绍

[0002]在高分辨率扫描电子显微镜的相关应用中，扫描电子显微镜电子束的参数指标对于表征扫描电子显微镜的工作性能具有重要意义，特别是电子束的电流大小和束斑尺寸。电子束的电流值将影响电子束的亮度，电子束的束斑尺寸将决定扫描电镜的成像分辨率。因此准确测量电子束电流值是十分有必要的。测量电子束电流可以使用内外壁绝缘的法拉第杯作为收集电子注的装置，再用一个数字万用表连接法拉第杯，就可以测得电子束的电流。而要测量扫描电镜的电子束电流就比较困难，这里需要解决几个问题，其一，需要制作一个用于扫描电子显微镜电子束的收集装置，即法拉第杯；其二，由于扫描电镜成像分辨率较高，电子束的电流很小，因此需要一个灵敏度极高的数字万用表作为测量电流的工具；其三，由于扫描电镜是工作在真空环境下的，因此法拉第杯与数字万用表的连线问题也是一个难点。目前用于收集电子束的法拉第杯结构简单，但大多都没有考虑到电子束打在法拉第杯底产生的二次电子发射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，包括密封室(1)，其特征在于，所述密封室(1)上方配合连接有密封盖(2)，所述密封室(1)与密封盖(2)之间设置有门阀(5)，所述密封盖(2)顶部设置有透镜(3)，所述透镜(3)下方设置有消像散器(4)，所述密封室(1)两侧安装有伸缩机构(6)，所述伸缩机构(6)一端安装有防反光板(7)，所述密封室(1)底部设置有底座(8)，所述密封室(1)外部安装有万能表(10)，所述万能表(10)与底座(8)之间设置有陶瓷导线(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于，所述伸缩机构(6)包括电机(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵志军，
申请(专利权)人：精典电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：