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本发明公开了一种电致变色专用镀膜设备，属于电致变色材料加工技术领域。本发明包括依次真空密封联接并相互独立的进片室、离子储存层制程室、第一搬运室、离子交换层制程室、第二搬运室、阴极变色层制程室和出片室，每个腔室均设有独立的门阀和真空泵；基片架...
该专利属于深圳奥卓真空设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳奥卓真空设备技术有限公司授权不得商用。

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