下载一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置的技术资料

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本发明提供一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置,包括回转架、设于回转架侧部且用于驱动基片架本体送入或送出真空回转室的传送组件以及设于回转架的底部且用于驱动回转架转动180
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