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一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置制造方法及图纸
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下载一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置的技术资料
文档序号:33303341
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本发明提供一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置,包括回转架、设于回转架侧部且用于驱动基片架本体送入或送出真空回转室的传送组件以及设于回转架的底部且用于驱动回转架转动180
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该专利属于洛阳生波尔真空装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛阳生波尔真空装备有限公司授权不得商用。
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