下载功率器件模块用覆铜氮化硅基板的技术资料

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本实用新型公开了功率器件模块用覆铜氮化硅基板,涉及氮化硅基板技术领域。功率器件模块用覆铜氮化硅基板,包括氮化硅陶瓷基板,所述氮化硅陶瓷基板上覆接有复合层,复合层表面上形成有多个凹孔,复合层上表面覆接有覆铜膜层,覆铜膜层上叠加有铜板层,铜板层...
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