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本实用新型属于膜厚测试技术领域,具体涉及一种膜厚测试装置。本实用新型用以解决相关技术中测试膜厚效率较低的问题。膜厚测试装置包括导光装置和处理设备;处理设备与导光装置连接,导光装置具有朝向待测薄膜不同位置设置的多个采集端,导光装置用于将各采集...该专利属于南京微纳科技研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京微纳科技研究院有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于膜厚测试技术领域,具体涉及一种膜厚测试装置。本实用新型用以解决相关技术中测试膜厚效率较低的问题。膜厚测试装置包括导光装置和处理设备;处理设备与导光装置连接,导光装置具有朝向待测薄膜不同位置设置的多个采集端,导光装置用于将各采集...