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本发明提供的一种模块移入移出装置，涉及作业设备技术领域，以在一定程度上解决设备维护时需要将外围模块整体拆除再复装，导致效率较低的问题。本发明提供的模块移入移出装置，包括驱动机构、配合座、端盖以及连接件；配合座与模块相连接，且沿配合座的轴向形...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。