温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统，包括设置有液体原料的坩埚、石墨盘以及驱动石墨盘上下移动的石墨盘驱动装置，石墨盘下方设置生长晶体籽晶，籽晶或晶体始终与液体原料接触，石墨盘上方设置电连接的第一导电棒，坩埚下方设置电连接的第...
该专利属于南京晶升装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶升装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。