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本发明涉及一种二维微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，二维微机械双向扭转镜阵列包括电极基底以及设置在电极基底上的微镜单元，微镜单元包括微镜支撑结构层、通孔电极基底以及镜面结构层，微镜支撑结构层包括锚点、扭转梁、第一下电极以及第二下电极，通孔电...
该专利属于西北工业大学宁波研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学宁波研究院授权不得商用。

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