下载一种利用等离子体刻蚀调控有机薄膜光谱颜色的方法的技术资料

文档序号:33278512

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种利用等离子体刻蚀调控有机薄膜光谱颜色的方法,包括以下步骤:1)在光滑的玻璃衬底上制备第一层有机薄膜;2)利用等离子体刻蚀连续刻蚀第一层有机薄膜;刻蚀发生在有机薄膜表面,产生的气态碎片将被真空泵抽走,有机薄膜厚度逐步减小,进而...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。