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本发明提供一种晶体槽晶向测量仪和测量方法，其中晶棒槽晶向测量仪器包含载物机构、晶向测量机构、测角仪、槽深测量机构，所述载物机构能够承载晶棒并带动晶棒旋转，所述测角仪能够测量晶棒旋转角度，所述槽深测量机构能够测量所述晶棒的槽深，所述晶向测量机...
该专利属于丹东奇伟企业管理咨询有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东奇伟企业管理咨询有限公司授权不得商用。

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