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文档序号:33261710

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本发明涉及用于对基材(40)进行涂覆的方法、执行所述方法的涂覆系统和经涂覆体。在第一方法步骤(62)中,将基材(40)在离子蚀刻过程中进行预处理。在第二方法步骤(64)中,通过PVD过程在基材(40)上沉积厚度为0.1μm至6μm的第一涂覆...
该专利属于塞梅孔公司所有,仅供学习研究参考,未经过塞梅孔公司授权不得商用。

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