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本发明公开了一种晶硅太阳能电池的背面钝化膜，其中，背面钝化膜设置于硅衬底背面；背面钝化膜包括自硅衬底背面的表面依次向外设置的氮氧化硅层和氮化硅层。本发明提供的背面钝化膜能够提高太阳能电池钝化效果及背面反射率、电池效率，且沉积氮氧化硅和氮化硅...
该专利属于意诚新能（苏州）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意诚新能（苏州）科技有限公司授权不得商用。

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