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本申请涉及一种晶圆良率数据处理的方法及装置，其中，所述方法包括：在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；响应于用户在所述图表组件中至少一个数据...
该专利属于杭州广立微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州广立微电子股份有限公司授权不得商用。

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