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一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具技术
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下载一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具的技术资料
文档序号:33249968
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本发明公开了一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具,涉及ITO管状靶材制备方法技术领域,包括以下步骤:步骤一,将氧化铟粉末和氧化锡粉末按照重量百分比90:10的方式进行均匀混合;步骤二,将混合后的粉末进行焙烧,形成形成ITO混合粉末...
该专利属于江苏东玖光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏东玖光电科技有限公司授权不得商用。
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