下载一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具的技术资料

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本发明公开了一种大长径比ITO管状靶材的制备方法及制作模具,涉及ITO管状靶材制备方法技术领域,包括以下步骤:步骤一,将氧化铟粉末和氧化锡粉末按照重量百分比90:10的方式进行均匀混合;步骤二,将混合后的粉末进行焙烧,形成形成ITO混合粉末...
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