下载激光照射装置的技术资料

文档序号:33247444

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本发明公开一种激光照射装置,包括:一激光生成装置,用于生成待施加于处理对象的激光;一浮起单元,用于浮起所述处理对象;一保持机构,用于通过将所述处理对象吸附于一吸附表面上而保持所述处理对象;以及一移动机构,用于移动所述保持机构,其中,所述保持...
该专利属于株式会社日本制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本制钢所授权不得商用。

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