下载温控系统的控制方法及温控系统的技术资料

文档序号:33245882

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本发明涉及半导体生产技术领域,尤其涉及一种温控系统的控制方法及温控系统,温控系统的控制方法包括:获取高温级系统的压缩机的吸气口的实际压力值;根据高温级系统的压缩机的吸气口的实际压力值和目标压力值,控制高温级系统的压缩机的输出频率与高温级系统...
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