下载一种砷化镓晶片表面清洗装置的技术资料

文档序号:33240180

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本实用新型公开了一种砷化镓晶片表面清洗装置,涉及晶片清洗技术领域,不能翻转,使得只能清洗一面,使得整体清洗效果较差,且常用的清洗装置清洗效率较低,包括清洗箱,所述清洗箱的一侧固定安装有旋转组件和摆动组件,清洗箱的顶部插接有软管,可将晶片放置...
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