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本实用新型涉及半导体芯片加工技术领域，尤其涉及一种晶圆取放及转运装置；该装置包括转运载盘及取放托盘，其中转运载盘包括限位槽、矩形槽、防滑机构及透气孔，转运载盘上设有用于对晶圆限位的限位槽，且限位槽内设有矩形槽，用于取放托盘取放晶圆，转运载盘...
该专利属于湖北光安伦芯片有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北光安伦芯片有限公司授权不得商用。

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