下载促进原料组分恒定和流动性的半导体晶体生长装置的技术资料

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本实用新型公开了一种促进原料组分恒定和流动性的半导体晶体生长装置。所述半导体晶体生长装置包括:生长腔室、设置于生长腔室内的反应容器和原料补充容器;所述反应容器用于承载晶体生长所需的籽晶和/或衬底以及容置晶体生长所需的生长原料;升降机构,所述...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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