温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆加工载具，包括晶圆载具，晶圆载具包括晶圆承载容器和内置于晶圆承载容器底部的支撑板，晶圆承载容器的内部形成有内腔，内腔的内壁均匀开设有若干组放置槽，相邻两组放置槽等距开设，支撑板的内部开设有导向槽且一侧开设有滑槽，导向...
该专利属于无锡矽晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡矽晶半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。