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靶材喷涂设备用除尘机构及靶材喷涂设备制造技术
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文档序号:33217545
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本实用新型涉及靶材喷涂设备用除尘机构及靶材喷涂设备,除尘机构包括分离装置、过滤装置和风机,分离装置包括沉降分离器,沉降分离器包括沉降室,沉降室具有进气口和出气口,进气口用于连通喷涂仓的除尘口,出气口经过滤装置通至风机处,过滤装置有并列的至少...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。
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