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本实用新型提供了一种适用于制备低电阻薄膜的石墨载具，包括连接组件、固定件和第一连接杆；所述固定件包括若干第一固定件和若干第二固定件，且所述若干第一固定件和所述若干第二固定件的两端部分别与所述连接组件连接；所述第一连接杆贯穿连接所述若干第一固...
该专利属于理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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