下载一种应用于干蚀刻法铜互连大马士革的电镀铜溶液及其电镀铜方法的技术资料

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本发明公开了一种应用于干蚀刻法铜互连大马士革的电镀铜溶液及其电镀铜方法,包括以下质量浓度的组分:铜盐5
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