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本发明公开了一种测量深槽电容寄生电阻的方法，包括如下步骤：步骤S1，在深槽电容的正端电极的两侧对称开窗形成第一测试点(P1)和第二测试点(P2)，在所述深槽电容的GND电极上开窗形成接地测试点(GND)；步骤S2，通过第一测试点(P1)、第...
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