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一种多层掩膜版之间套刻结果的预测方法及装置、终端，所述方法包括：选择套刻图形的一个或多个位置参数，针对每个位置参数，自第一层掩膜版起，对多层掩膜版中各张掩膜版的套刻图形的位置参数值进行多轮预测，并针对每轮预测结果，确定不同的掩膜版之间的套刻...
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