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本发明涉及晶圆检测领域，尤其是涉及一种多晶圆检测装置，包括若干个用于对晶圆进行检测的晶圆检测装置本体，还包括检测台，晶圆检测装置本体设置在检测台上，检测台上设有用于盛装待检测晶圆的待检测箱和用于盛装已检测完晶圆的已检测箱，已检测箱内设有用于...
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