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本发明公开了一种行星大气成分配比在线检测系统，包括气体混合腔和质谱仪，气体混合腔连接漏孔取样装置，漏孔取样装置包括取样阀和多级漏孔装置，多级漏孔装置包括本体，本体设有凹腔，凹腔的底面设置出气口，凹腔的前端螺纹连接进气头，进气头设有进气孔，进...
该专利属于常熟市虞华真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常熟市虞华真空设备科技有限公司授权不得商用。

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