行星大气成分配比在线检测系统、混合系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种行星大气成分配比在线检测系统，包括气体混合腔和质谱仪，气体混合腔连接漏孔取样装置，漏孔取样装置包括取样阀和多级漏孔装置，多级漏孔装置包括本体，本体设有凹腔，凹腔的底面设置出气口，凹腔的前端螺纹连接进气头，进气头设有进气孔，进气头与凹腔的底面间若干轴向贴合的漏孔板，漏孔板两端设有密封圈，相邻的漏孔板上的漏孔相互不重叠且在外圆周密封，取样阀的连接于本体和与气体混合腔之间，多级漏孔装置的出气口端与质谱仪连接，多级漏孔装置的出气口端与质谱仪之间的连接管路上连接有抽气装置。本发明专利技术还公开了行星大气成分配比混合系统以及在线检测方法，本发明专利技术不需要设置单独的过渡腔进行取样，可实现在线成分检测。现在线成分检测。现在线成分检测。

【技术实现步骤摘要】
行星大气成分配比在线检测系统、混合系统和方法


[0001]本专利技术涉及一种气体检测系统，特别是涉及一种行星大气成分配比在线检测系统、行星大气成分配比混合系统和行星大气成分混合方法。

技术介绍

[0002]在空间科学行星探索中进行各种研究分析往往需要对行星环境进行模拟，其中对行星大气的压力、气体成分模拟尤为重要。公开号为CN111579261 A的中国专利公开了一种火星表面气体成分模拟装置及方法，该装置在真空腔室内模拟火星大气环境，真空腔室由第二真空阀门连接减压舱，减压舱再通过第四真空阀门连接电离系统和质谱系统。该方案的缺点在于，利用质谱系统对真空腔室内气体进行成分分析时，需要将真空腔室内气体引入减压舱，并由第二真空阀门隔断，然后使减压舱压力满足质谱系统要求，再进行成分分析，这相当于一个离线测量系统。调整真空腔室内气体组成时，无法进行实时进行成分分析。因此为了建立符合要求的真空腔室内气体成分，每次调整真空腔室的进气都需要通过第二真空阀门和第四真空阀门的反复开关以进行成分分析，操作过程复杂，气氛建立过程漫长。
专利技术内容
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种行星大气成分配比在线检测系统，包括气体混合腔和质谱仪，其特征在于，所述气体混合腔通过管路连接漏孔取样装置，所述漏孔取样装置包括由管路连接的取样阀和多级漏孔装置，所述多级漏孔装置包括本体，所述本体设有一凹腔，所述凹腔的底面设置出气口，所述凹腔的前端设有内螺纹，一进气头与所述凹腔的前端螺纹连接，所述进气头设有贯穿的进气孔，所述进气头的底面与所述凹腔的底面间设置若干片轴向贴合的漏孔板，所述进气头的底面与所述漏孔板之间以及所述漏孔板与所述凹腔的底面之间设有密封圈，相邻的所述漏孔板上的漏孔相互不重叠且所述漏孔板之间的外圆周密封，所述取样阀的一端与所述本体设有所述进气头的一端连接，所述取样阀的另一端与所述气体混合腔连接，所述多级漏孔装置的出气口端与所述质谱仪连接，所述多级漏孔装置的出气口端与所述质谱仪之间的连接管路上连接有抽气装置。2.根据权利要求1所述的行星大气成分配比在线检测系统，其特征在于，所述气体混合腔与所述质谱仪之间并连接有多个所述漏孔取样装置，多个所述漏孔取样装置之间为并列连接，不同的漏孔取样装置中的多级漏孔装置具有不同的漏孔板数量。3.根据权利要求1所述的行星大气成分配比在线检测系统，其特征在于，所述抽气装置包括依次连接的抽气阀、分子泵、前级阀和干泵，所述气体混合腔通过主抽阀连接至所述分子泵的入口端以及通过粗抽阀连接至所述干泵的入口端。4.一种行星大气成分配比混合系统，其特征在于：包括上述行星大气成分配比在线检测系统和若干供气单元，所述供气单元包括依次连接的储气罐、稳压阀、流量计、流量阀和单向阀，所述单向阀的出口连接至所述气体混合腔。5.根据权利要求4所述的行星大气成分配比混合系统，其特征在于：包括预混稳压腔，所述单向阀的出口连接至所述预混稳压腔，所述预混稳压腔出口依次通过充气阀和充气调节阀连接至所述气体混合腔。6.一种行星大气成分配比在线检测方法，其特征在于，基于权利要求1所述的行星大气成分配比在线检测系统进行，取样前关断所述漏孔取样装置中的取样阀，开启所述抽气装置对所述取样阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴建新，戴科晨，
申请(专利权)人：常熟市虞华真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：