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本发明提供一种键合头装置及键合机，所述键合头装置包括相对设置的固定杆和键合杆、设置在所述固定杆和所述键合杆之间的连杆组件，以及设置在所述连杆组件上的压电组件和设置在所述键合杆一端的劈刀。所述连杆组件包括相对并成一定角度设置的第一连杆和第二连...
该专利属于凌波微步半导体设备（常熟）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凌波微步半导体设备（常熟）有限公司授权不得商用。

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