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一种抗漂移的双气敏膜气体传感器制造技术
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文档序号:33200069
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本发明提供了一种抗漂移的双气敏膜气体传感器,属于气敏传感器技术领域,包括基底、加热电极及多个气敏单元,所述加热电极及多个所述气敏单元间隔设置在所述基底上,所述气敏单元包括构成至少两个插齿电极的至少三个测量电极和至少两个气敏膜,所述至少三个测...
该专利属于四方光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四方光电股份有限公司授权不得商用。
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