下载表征激光处理系统的激光辐射的方法、光阑装置和激光处理系统的技术资料

文档序号:33198712

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本发明涉及用于表征激光处理系统(30)的激光辐射(24)的方法。该方法包括a)在激光处理系统(30)的工作平面(300)中提供具有多个光阑开口(14)的光阑装置(10),使得光阑开口(14)在工作平面(300)内延伸。该方法还包括b)沿平行...
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