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提供一种能够有效检查电子部件的电特性并且误差少的测量装置和测量方法。测量装置具有：压力变更单元，其改变测量室内的压力；多个接触探针，其同时接触多个石英振子的外部电极；电源部，其对石英振子施加电压；测量部，其测量石英振子的阻抗；以及切换部，其...
该专利属于株式会社昭和真空所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社昭和真空授权不得商用。

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