下载一种承载装置及检测设备的技术资料

文档序号:33191707

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本发明提供一种承载装置,该承载装置包括承载盘,该承载盘用于承载待承载对象,该承载盘具有承载面,且承载盘设有排气孔,排气孔与外界连通,该排气孔用于排除承载面与待承载对象之间的至少部分气体;该排气孔设置在承载面的中心区域,且排气孔在承载面的正投...
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