下载一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构的技术资料

文档序号:33190090

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本实用新型公开一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构,包括取收平台以及架设在取收平台上的取盘机构和收盘机构,所述取盘机构包括取盘驱动轨道和架设在取盘驱动轨道顶端的供盘弹夹仓,所述收盘机构包括收盘驱动轨道和架设在收盘驱动轨道顶端的收盘弹夹仓,所述...
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