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本实用新型提供了一种N型电池POLY硅的沉积装置，该沉积装置包括承载机构及两个固定板，该两个固定板对向设置，承载机构则设置于两个固定板之间，以在两个固定板之间固定并承托若干硅片；该承载机构设置有若干个用于放置硅片的卡槽，各卡槽的中部均具有一...
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