下载一种带自动锁扣的扩晶机构的技术资料

文档序号:33173817

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本实用新型公开了一种带自动锁扣的扩晶机构,包括扩晶机构和扣锁结构,所述扩晶机构包括升降外环、晶盘上压板、升降驱动环、晶盘下垫块和旋转环,所述旋转环的顶端处于升降外环的内侧,所述旋转环的顶端内侧还安装有晶盘内撑,所述升降驱动环转动安装在升降外...
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