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本实用新型公开了一种集成电路加工用抛光装置，包括筒体、进风盒和灯罩，所述筒体内部通过螺栓固定有内管，所述内管内部通过安装架安装有蓄电盒，所述蓄电盒底部通过安装架安装有驱动电机，所述筒体顶部热熔连接有进风盒。本实用新型整体结构简单，操作方便，...
该专利属于罗志聪所有，仅供学习研究参考，未经过罗志聪授权不得商用。

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