下载半导体激光二极管及其制造方法的技术资料

文档序号:3316093

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本发明的目的是制得一种发射从紫外到绿色光这一范围的短波长光的高性能的半导体激光二极管和提供其制造方法。其构成是先在蓝宝石基板1上边形成n型GaN接触层5,然后在此n型GaN接触层5上边形成把n型AlGaN层7、非掺杂GaN活性层8、p型Al...
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