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近场光学纳米孔径激光器制造技术
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下载近场光学纳米孔径激光器的技术资料
文档序号:3315548
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本发明属于近场光学、纳米技术领域,包括一半导体固体激光器,在该激光器的出射表面上镀有能形成纳米孔径的材料膜层,在该膜层上开有一纳米尺寸的出射孔径,所说的纳米孔径激光器的纳米孔径形状为匚形、工形、C形、半圆环形等等之一种异形孔径。本发明对参数...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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