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氮化物半导体器件制造技术
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文档序号:3315444
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一种氮化物半导体器件,具有较高的电极接触性能。该氮化物半导体器件包括由Ⅲ族类氮化物半导体制成的半导体层、及用于向该半导体层提供载流子的金属电极。该器件具有第一接触层,由Ⅲ族类氮化物半导体(Al↓[x]Ga↓[1-x])↓[1-y]In↓[y...
该专利属于先锋株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过先锋株式会社授权不得商用。
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