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频率分裂氦－氖激光回馈自混合非接触测微仪，涉及一种氦－氖激光回馈效应自混合干涉仪的结构设计。本发明主要由氦－氖激光器光源，光电探测及信号处理单元、含有回馈腔及带反射面的被侧物体组成，其激光器不使用普通氦氖激光器，而是利用频率分裂激光器作光源...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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