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氮化物半导体激光元件制造技术
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文档序号:3315331
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本发明氮化物半导体激光元件,为了提供能够精确控制p侧欧姆电极与p型接触层之间的接触宽度且可靠性高的氮化物半导体激光元件,备有,在基板上依次形成的n型氮化物半导体层、活性层及p型氮化物半导体层;该p型氮化物半导体层,包含最上层的p型接触层在内...
该专利属于日亚化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日亚化学工业株式会社授权不得商用。
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