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混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器和制作方法技术
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文档序号:3315245
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本发明一种混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器,包括:脊型波导结构电吸收调制器;脊型波导结构的隔离区,该隔离区与该电吸收调制器相连;掩埋异质结构DFB隔离区,该激光器与该隔离区相连;所说的电吸收调制器、隔离区、激光器均制作在同一衬底上。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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