下载混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器和制作方法的技术资料

文档序号:3315245

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本发明一种混合波导结构电吸收调制分布反馈激光器,包括:脊型波导结构电吸收调制器;脊型波导结构的隔离区,该隔离区与该电吸收调制器相连;掩埋异质结构DFB隔离区,该激光器与该隔离区相连;所说的电吸收调制器、隔离区、激光器均制作在同一衬底上。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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