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本发明提供一种缺陷自分类方法及系统，用于对晶圆上的缺陷进行自分类，其中，所述缺陷自分类方法包括：获取缺陷所在位置的图像信息；将所述图像信息转换为数字灰阶图像；对所述数字灰阶图像进行图形层次识别；以及，根据所述图形层次识别的结果判断所述缺陷的...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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