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本申请涉及光刻机的技术领域，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺，其包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所述螺纹管位于所述放置槽内；还包括顶塞机构，所述顶塞机构包括顶塞块，所述顶塞块设置在所述放置槽内，所述螺纹管抵触所...
该专利属于济南鑫德石通精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南鑫德石通精密机械有限公司授权不得商用。

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