一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺制造技术

本申请涉及光刻机的技术领域，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺，其包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所述螺纹管位于所述放置槽内；还包括顶塞机构，所述顶塞机构包括顶塞块，所述顶塞块设置在所述放置槽内，所述螺纹管抵触所述顶塞块。本申请具有提高产品质量的效果。本申请具有提高产品质量的效果。本申请具有提高产品质量的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺


[0001]本申请涉及光刻机的
，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺。

技术介绍

[0002]光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。
[0003]目前，一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体，主体上开设有放置槽，放置槽内放置有螺纹管，螺纹管抵触放置槽底壁，螺纹管的端面与主体的端面位于同一平面内。
[0004]在实现本申请过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题：操作人员在开设放置槽的时候，放置槽的深度容易出现偏差，即放置槽的深度大于螺纹管的长度，因此在螺纹管抵触放置槽侧壁的时候，螺纹管的端面不会与主体端面位于同一平面内，从而影响产品质量。

技术实现思路

[0005]为了提高产品质量，本申请提供一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺。
[0006]第一方面，本申请提供的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，采用如下的技术方案：一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体（11）和螺纹管（12），所述主体（11）上开设有放置槽，所述螺纹管（12）位于所述放置槽内；其特征在于，还包括顶塞机构（2），所述顶塞机构（2）包括顶塞块（21），所述顶塞块（21）设置在所述放置槽内，所述螺纹管（12）抵触所述顶塞块（21）。2.根据权利要求1所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，其特征在于，所述顶塞块（21）上设置有与所述螺纹管（12）连接的连接组件（22），所述连接组件（22）包括螺纹柱（221）和连接螺栓（222），所述螺纹柱（221）设置在所述顶塞块（21）上且与所述螺纹管（12）螺纹连接；所述连接螺栓（222）穿过所述螺纹管（12）与所述螺纹柱（221）螺纹连接。3.一种如权利要求1所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，S1：先在主体（11）上开设放置槽；S2：将导向装置（5）连接在主体（11）上；S3：用测量装置（3）测量放置槽的深度；S4：根据放置槽的深度选择合适的顶塞块（21）连接在螺纹管（12）上，然后使连接有顶塞块（21）的螺纹管（12）通过导向装置（5）放置在放置槽内。4.根据权利要求3所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述测量装置（3）包括第一固定杆（31）、第二固定杆（32）、测量杆（33）和第一固定组件（34），所述第一固定杆（31）设置在所述第二固定杆（32）上，所述第一固定杆（31）呈圆台状，所述第二固定杆（32）呈圆柱状，所述第二固定杆（32）的横截面积与所述放置槽横截面积相同；所述第一固定杆（31）上开设有第一通孔，所述第二固定杆（32）上开设有与所述第一通孔连通的第二通孔，所述测量杆（33）的一端依次穿过所述第一通孔和第二通孔；所述第一固定组件（34）设置在所述第二固定杆（32）上且与所述测量杆（33）连接。5.根据权利要求4所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述第二固定杆（32）上设置有自动调节组件（4），所述自动调节组件（4）包括调节板（41）和第一弹簧（42），所述第二固定杆（32）上开设有与所述第二通孔连通的第一凹槽（321），所述调节板（41）设置在所述测量杆（33）上且位于所述第一凹槽（321）内；所述第一弹簧（42）套设在所述测量杆（33）上，所述第一弹簧（42）的一端连接在所述调节板（41）上且另外一端连接在所述第一凹槽（321）侧壁上。6.根据权利要求4所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述第一固...

【专利技术属性】
技术研发人员：李方武，肖安林，肖安涛，李文浩，
申请(专利权)人：济南鑫德石通精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：