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一种蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法，其特征是采用气相传输平衡技术，通过锂离子的扩散，使氧化锂（Ｌｉ↓［２］Ｏ）与蓝宝石（α－Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］）发生固相反应，变成铝酸锂（γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］），然后再进行减薄、划片和裂片。...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法，其特征是采用气相传输平衡技术，通过锂离子的扩散，使氧化锂（Ｌｉ↓［２］Ｏ）与蓝宝石（α－Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］）发生固相反应，变成铝酸锂（γ－ＬｉＡｌＯ↓［２］），然后再进行减薄、划片和裂片。...