下载自组织砷化铟/砷化镓盘状量子点材料的制作方法的技术资料

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一种自组织砷化铟/砷化镓盘状量子点材料的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:    1)将砷化镓衬底进行脱氧处理,然后生长砷化镓缓冲层,提供应力缓冲;    2)砷化镓衬底温度;    3)退火后采用循环停顿生长方法,生长出砷化铟量子点,由...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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