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氮化物半导体发光器件及其制造方法技术
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文档序号:3314481
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一种氮化物半导体激光器件,其使用低缺陷密度的基板,在氮化物半导体膜内含有很小的应变,从而使其具有令人满意的长的使用寿命,在缺陷密度为10#+[6]cm#+[-2]或更低的GaN基板(10)上通过蚀刻形成条形凹陷部分(16)。在该基板(10)...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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